- 產(chǎn)品信息
- 式樣
產(chǎn)品信息
特 點
● 最適合工藝過程中的薄膜高速測量
●最短曝光時間1ms～※根據(jù)規(guī)格
●支持遠程測量
●膜厚測量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）
基本配置
多點測量點切換對應系統(tǒng)
在多點測量點切換對應系統(tǒng)中，通過在TD方向預先設置任意寬度的多分支光纖，可以在不驅(qū)動光纖的情況下測量TD方向的膜厚分布?？梢宰鳛橥繉拥臈l件和實時監(jiān)視器使用。
檢測器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)為1式，通過光纖的光路切換可以進行多點測定。
橫動單元對應系統(tǒng)
在橫動單元對應系統(tǒng)中，通過在TD方向上驅(qū)動橫動單元，可以以任意寬度和任意間距測量TD方向的膜厚分布。
可以作為涂層條件提出和實時監(jiān)控使用。 由于通過排線單元的驅(qū)動進行多點測量，因此無需準備多臺檢測器和數(shù)據(jù)處理。
即使在真空環(huán)境下也可以在多點進行反射、透射光譜測定
通過使用各種法蘭對應的耐真空纖維，可以在高真空下測量反射、透射光譜。
另外，膜厚運算不易受到基膜的上下移動的影響，并且采用精度良好的薄膜測量大冢電子獨自的算法，可以作為實時監(jiān)視器使用。
式樣
MCPD-9800仕様
MCPD-6800仕様
